微机电系统也称之为MEMS传感器,与传统的传感器相比,它具有体积小、成本低、能耗低、稳定性高、重量轻、易集成和实现智能化的特点, 经过几十年的发展,已成为重大科技领域之一。它涉及广包括电子、化学、生物学、机械、材料、等多种学科与技术,具有广阔的应用前景。
微机电系统在汽车中的应用
在众多汽车传感器中,同样会有越来越多的微机电系统应用其中。如压力传感器主要应用在测量气囊压力、燃油压力、发动机机油压力、进气管道压力及轮胎压力。MEMS加速度计 的原理是基于力学定律,主要用于安全气囊系统、防滑系统、汽车导航系统和防盗系统等。其中,电容式MEMS加速度计具有灵敏度高、受温度影响小等特点,是MEMS微加速度计 中的主流产品。微陀螺仪是一种角速率传感器,主要用于导航的GPS信号补偿和汽车底盘控制系统;应用最多的属于振动陀螺仪,通常,它与低加速度计一起构成主动控制系统。
微机电系统的广泛应用,强烈需要研究出高精密汽车传感器焊接工艺。 汽车微机电系统芯片多以单晶硅或多晶硅或微硅质量块作为材料,通常称为晶圆。在加以引线焊接,这种引线材质通常为铂金丝,线径从0.02mm到0.3不等。由于芯片尺寸本身很小,在此基础上的焊盘更小通常为0.2至0.6mm区间,要在非常小的焊盘上焊接0.04mm或0.2mm铂金丝有一定的难度,需要找到合适的芯片焊接方法。
针对微机电系统芯片焊接工艺,需要高精密设备来实现。设备参数之后就发现,首先焊接电源的控制精度就不够,焊接电源是一个精密设备的重要组成部分。电阻焊工艺是通过电流产生电阻热金属与金属的熔合,这个电流的控制精确程度直接影响焊接效果。其次是焊接机构部分,精度太低 ,电流通过时需要施加相应的压力。压力过大,线可能已经压断但是焊不上,压力过小,也焊不上。这种芯片焊接方法,不止用于铂金丝焊接,其他的如金丝焊接,银丝焊接,钨丝焊接等等都可以应用。
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